【企業動態】揚州欣達電子歡迎您 2014-04-12

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【技術文章】薄膜層狀生長模式 2014-04-09

當被沉積物質與襯底之間浸潤性很好時，被沉積物質的原子更傾向于與襯底原子相鍵合。因此，薄膜從成核階段開始即采取二維擴展模式即層狀生長模式(又稱Frank -van der Merwe)。這種生長方式的特點是，蒸發原子首先在基片表面以單原子層的形式 均勻地覆蓋...

【技術文章】薄膜島狀生長模式 2014-04-04

在島狀生長模式下，到達基片上的原子首先凝聚成無數不連續的小核，后續飛來的原子不斷集聚在核附近從而使核在三維方向不斷成長，最終形成連續的薄膜。因此島狀生長模式又稱為核生長模式。大部分薄膜的形成過程都屬于這種生長類型。這種生長模式的過程如圖5一7(a)所示。島狀...

【技術文章】薄膜的形成與生長 2014-03-31

薄膜的形成過程是指形成穩定核之后的過程；薄膜生長模式是指薄膜形成的宏觀形式。薄膜的生長模式大體上可分為三種:島狀生長模式、層狀生長模式和層島結合的生長模式。 如圖所示：

【技術文章】薄膜晶核的形成與生長的物理過程 2014-03-26

在基底表面上吸附的氣相原子凝結之后，吸附原子在其表面上擴散遷移而形成晶核。晶核再結合其他吸附氣體原子逐漸長大，*便形成了薄膜。因此薄膜的形成是由成核開始的，由核生長而形成薄膜。 晶核形成與生長的物理過程可用圖5一3來表示。從圖中可以看出核的形成...

【技術文章】薄膜表面擴散過程 2014-03-22

入射到基底表面上的氣相原子在表面上形成吸附原子后，它便失去了沿表面法線方向的動能，只具有與表面水平方向相平行運動的動能。依靠這種動能，吸附原子可以在表面上作不同方向的表面擴散運動。在表面擴散過程中，單個吸附原子間相互碰撞形成原子對之后才能產生凝結。因此凝結就...

【技術文章】薄膜的凝結吸附過程 2014-03-19

凝結過程是指從蒸發源中或濺射靶上被蒸發或濺射出來的原子、離子或分子人射到基底表面之后，從氣相到吸附相，再到凝結相的一個相變過程，它是薄膜形成的*個階段。 固體表面與固體內部在晶體結構上的重大差異就是原子或分子間的化學鍵中斷。原子或分子在固體表面形成...

【企業動態】揚州欣達電子歡迎您 2014-03-17

動畫

【技術文章】薄膜的形成與生長 2014-03-15

薄膜的形成與生長過程大體可分為外來原子在基底(或稱為基片、基板或襯底)上的凝結、擴散、成核、晶核生長、原子或粒子團的接合及連接成膜等階段。薄膜的形成與生長過程不僅與薄膜材料和基底材料有關，還受原子和離子的狀態及能量、沉積速率、基底溫度、雜質等多種因素的影響。...

【技術文章】薄膜制備環境-超凈工作間標準與級別 2014-03-10

在潔凈的環境下制備薄膜，是保證薄膜質量的關鍵技術之一。凈化間的定義最初是由美國開發的聯邦標準209版(Federal Standard 209)。后來發展為以單位體積中存在一定直徑以上的顆粒數為基礎的凈化間級別的定義。凈化間級別的米制版如表4一18所列。圖4...